深圳市泰道精密機電有限公司
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具有良好的直線度及平面度
直接驅動,無背隙及齒槽效應,高響應及平滑性表現
光柵尺分辨率可選0.5um,0.1um,20nm或5nm
高剛性的龍門結構設計
有效行程400mm by 250mm
性能特點:
具有良好的直線度及平面度
直接驅動,無背隙及齒槽效應,高響應及平滑性表現
光柵尺分辨率可選0.5um,0.1um,20nm或5nm
高剛性的龍門結構設計
有效行程400mm by 250mm
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